服务热线
13621619949
可为国内客户提供Go element品牌的源瓶，主要为：ALD/CVD源瓶、自定填装式源瓶、前驱体材料源瓶。
可根据客户需求，进行100%定制化
主要适用前驱体为：TEOS, TMA, 4MS, SAM24, TiCI4, TMA, TDMAT,HCDS,High-K,Low-K,SiH2CI2,Si2H6.WF6及其他ALD/CVD材料
品牌：韩国Go element
材质
● 管件阀门：316L不锈钢
● 瓶体：316L不锈钢内部EP抛光处理，Ra≤0.5μm
容积与尺寸：根据客户要求设计加工生产
灌装介质：金属有机前驱体材料、硅基前驱体材料及其他高纯前驱体化学品
气密性检测
● 允许泄漏率≤2.0×10 mbar.L/S
● 可装化学品纯度：99.9999%～99.9999999%
其他选项
● 阀门可按客户需求选择
● 最短间隙组合阀组（减少死角、清扫方便）
● 可选韩国Go element的点式液位计和连续性液位计
● 定制化设计生产
源瓶的命名
