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gFFOZ臭氧传感器

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gFFOZ臭氧传感器

产品时间:2022-07-05 16:53

简要描述:

IN USA 品牌的Gffoz 是一台结构紧凑,设计用来测量过程臭氧气体的传感器,它可以持续测量浓度高达900g/Nm3的臭氧气体。Gffoz是一台洁净的传感器,可以用于半导体制程,并且可以在线安...

详细介绍
   IN USA 品牌的Gffoz是一台结构紧凑,设计用来测量过程臭氧气体的传感器,它可以持续测量浓度高达900g/Nm3的臭氧气体。Gffoz是一台“洁净”的传感器,可以用于半导体制程,并且可以在线安装,允许流量高达15slpm。
   Gffoz采用IN USA公司的创新型的双光路测量技术(获得专利),从而具有无与伦比的性能。
   Gffoz典型安装包含了一台控制器(Mini-SCI或SCI-Turbo),通过信号线进行连接。控制器提供了电源,基于微机的控制,LCD显示等。特点包含:0-10VDC和4-20Ma模拟输出,RS232数字通讯,远程自动零点和自动温度压力补偿。

产品特点:
◆ 紫外吸收技术
◆ 双光速测量原理
◆ 无活动配件—最小维护
◆ 压力和温度补偿
◆ 在线监测
◆ 全流量
◆ 半导体级别焊接
◆ 控制器最多可以接四个传感器

技术指标:
传感器:
 
◆ 制造商: IN USA INC
◆ 测量原理 :紫外吸收技术,双光路传感器
◆ 压力&温度 :自动补偿
◆ 紫外线光源:低压汞灯
◆ 测量单位 :g/m3,g/Nm3,%w/w
◆ 量程 : 0-26%w/w(0-900g/m3)@35psi或2.4atm
◆ 重复性 :1g/m3或读数1%,取大者
◆ 样品流量 :0.2-15SLPM
◆ 样品压力 :10-80psi
◆ 压损 :5mBar@10slpm
◆ 焊接材料 :316L VAR电抛光不锈钢,蓝宝石,符合半导体制程要求
◆ 接口: 1/4 inch VCR(其他也可选择)
◆ 尺寸:130x146x54mm

 


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