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CAT-O3系列臭氧破坏器能够安全的分解高浓度臭氧到亚ppm浓度级，远远低于推荐的安全臭氧浓度。该仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。CAT-O3系列臭氧破坏器的外壳由不锈钢焊接而成，并配有热屏蔽层。该设备的设计能够满足行业内严格的安全标准。
特征
全焊接结构
独立设备
反应时间快
无耗材
免维护
安装简单
应用
化学气相沉积(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)
原子层沉积(ALD)
有机金属化合物化学气相沉积
（MOCVD）
灰化(Ashers)
湿法处理流程(Wet Benches)
喷涂工具
& 更多
