由于氧气分析仪具备较高的灵敏度，因此在日常使用过程中，就需要积极做好维护保养。假如在这方面处理不当很容易会影响后续的工作，导致分析结果数据出现紊乱进而影响其使用寿命。

在开展微量分析时，应当尽可能的简化气路系统。尤其是各种管件以及阀门的死角处很容易出现污染，因此就有必要选择石角较小的连接件，避免使用油封以及蜡封的相关设备。目的在于防止溶解氧溢出导致出现污染，这样才能够更好保证系统的洁净度，最终得到的数据精准。

在使用氧气分析仪时，还需要严格检验取样管路是否存在泄漏的现象，需要将漏入的空气吹除干净，尽可能的避免氧气通过传感器进入至设备内部，从而出现腐蚀的现象。在管道系统进化的过程中，为尽可能提高效率，对此就需要采用高压放气或者小流量催促交替，也能够实现更加快速的净化管道。

关于氧气分析仪的泄漏问题很大程度上会直接影响其寿命，因此在启动前就有必要开展严格检查。对于连接点、阀门等较为关键处要保证不会出现渗漏现象，此外管道材质以及表面粗糙度都会影响样气氧气含量的变化。在通常情况下，应当使用不锈钢管作为连接管路，而塑料管和橡胶管则存在老化问题，不宜使用。

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