目前物理方法分析臭氧现在在国际上最流行的是紫外线吸收法。它是利用臭氧对254nm波长的紫外线特征吸收的特性，依据比尔—郎伯(Beer-Lambert)定律制造出的分析仪器，臭氧吸收短波紫外区(200~300nm)哈特雷波段紫外光，在253.7nm处具有最大吸收。在此波长，吸收系数值的范围从303.9到313.2cm-1·mol-1·L(273K和760mmHg),研究者证实了该值为302.4cm-1·mol-1·L。紫外线吸收法不但可以适用于检测气体中臭氧浓度，也可以检测水中溶存的臭氧浓度。紫外线吸收法的仪器在美国、德国、瑞士、日本、中国都有产品.
紫外线吸收法原理
辐射被某种气体或液体吸收是受朗伯-比尔(LambertBeer)定律控制的：
I=Ioeklc
式中Io——入射光束的强度
I——光束穿透样品(气体或液体)后的强度
l——通过样品光程的长度
c——样品内吸收物质的浓度
k——吸收物质对该光线波长的比吸收系数
此种检测需要对物质在已知波长下k值的精确了解
 
臭氧目前在水处理行业得到广泛的运用，包括市政给水、市政污水、工业废水等。
1、市政给水深度处理
　　臭氧-生物活性炭技术应用于给水深度处理，主要以改善水质为主要目的。未来，市政给水的水源将越来越依赖地表水，地表水有相当一部分为Ⅳ类、Ⅴ类，有些为劣Ⅴ类，水体受到一定程度的污染；尽管政府采取措施对水体污染进行了控制，但难以在短期内有效控制。常规给水处理工艺对溶解性有机物处理效果不理想，出水有异味、口感差、色度偏高、COD偏高等问题突出，臭氧-活性炭深度处理工艺能够有效解决此类问题，使出水水质全面达到生活饮用水卫生标准。此工艺技术特点鲜明、占地面积小、处理效果好、运行成本低，特别是在深度处理升级改造项目中优势突出；随着全民生活水平的提高和安全意识的加强，深度处理在县级、园区级、乡镇级的给水深度处理项目中将得到越来越广泛的应用。
2、市政污水及各类难降解工业废水处理
　　市政污水处理厂深度处理升级改造项目，出水水质要求达到一级A、地表Ⅳ类，甚至地表Ⅲ类的水平，常规处理工艺难以达到技术要求；往往需要臭氧高级氧化或者催化臭氧氧化工艺。特别是北方缺水地区利用深度处理后的出水作为河道补水、地下水补水、中水回用等，具有很高的环保价值和经济效益。
难降解工业废水，诸如煤化工废水、焦化废水、印染废水、制药废水、化工废水、炼油废水、化纤废水等等。臭氧氧化应用于废水处理有多重明显的作用，能够氧化细胞内酶、破坏DNA、RNA物质，透过细胞膜使之发生通透性的畸变，破坏发色基团中的不饱和键（芳香基或者共轭双键）、破坏C=C双键转化为羧基、羧酸或者酮，去除氰、硫氰等毒性有机物。催化臭氧氧化工艺能够进一步改善臭氧氧化的局限性，降低臭氧氧化的选择性、提高废水COD 的去除率,减少小分子的醛、酮、羧酸等中间中间产物、将有机物彻底矿化为CO2、H2O，减少硝基苯等毒性中间产物。催化臭氧氧化工艺不产生二次污染，处理效果好、经济性好，工程可行性最强，发展前景良好。

在水处理行业的运用主要有以下五款类型的臭氧仪表。
l 高浓度臭氧分析仪：用于臭氧发生器出口高浓度臭氧气体检测
l 尾气臭氧浓度仪：用于尾气破坏器之前的带水分臭氧气体检测
l 排气臭氧浓度仪：用于臭氧尾气破坏器之后的低浓度臭氧气体检测
l 水中臭氧浓度仪：用于臭氧接触池/臭氧氧化池出口水中残余臭氧检测
l 环境臭氧浓度仪：用于臭氧发生间臭氧气体泄漏检测